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半导体级产品
硅单晶切割片和研磨片
直拉单晶硅
硅单晶切割片和研磨片
MONOCRYSTALLINE SILICONS AS CUT WAFER & LAPPED SLICES
产品名称
规格
PRODUCT
SPECIFICATIONS
直径mm
76.2
100
125
DIAMETER
直径允许偏差mm
±0.4
±0.5
±0.3
ALLOWANCE DIAMETER
TOLLERANCE
切割片
AS CUT WAFER
厚度um
≥260
≥280
≥440
THICKNESS
厚度允许偏差um
±10
±10
±10
THICKNESS VARIATION
总厚度变化um
≤10
≤15
≤20
TTV
翘曲度um
≤30
≤35
≤40
WARP
崩边um
≤0.8
≤0.8
≤1.0
CHIPS
研磨片
LAPPED WAFER
厚度um
≥220
≥250
≥400
THICKNESS
厚度允许偏差um
±10
±10
±10
THICKNESS VARIATION
总厚度变化um
≤5
≤5
≤5
TTV
翘曲度um
≤30
≤35
≤40
WARP
崩边
未倒角
≤0.8
≤0.8
≤0.8
mm
NOT ROUNDED
CHIPS
倒角
≤0.3
≤0.3
≤0.3
EAGE ROUNDED
版權申明
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